現階段，真空泵領域應用的大部分機械設備真空泵全是用
愛發科真空泵油、水或其他高聚物等液體當做泵的工作中介質，在泵內起製冷、密封性、潤化等各種功效。
伴隨著科技的發展趨勢及其真空泵主要用途的擴張，原來的機械設備真空泵以及構成的抽真空係統軟件發生了迫切問題：一是泵的工作中介質反流環境汙染被抽器皿；次之，因為一些工藝全過程中的反映成分使真空泵內的介質比較嚴重黴變，使泵無法正常的工作中。
針對一般的無油超濾裝置愛發科真空泵油而言，盡管可以用骨架密封式真空泵再加上冷阱或吸咐阱這類配件來避免反流，但不可以解決問題，並且使係統軟件看起來繁雜。而應用適度形式的幹試機械設備真空泵，則可以實現夢想的應用實際效果。
愛發科真空泵油的運用是普遍的，關鍵有下麵一些層麵：
低電壓化學氣相沉積中的多晶矽製取工藝中；
半導體材料離子注入工藝。在許多生產製造工藝中通常使用或轉化成腐蝕汽體和碾磨微粒；
除半導體材料工藝外的一些造成微粒的工藝，不期待微粒滲入油閥中，而期待微粒排出來泵外，則用一定形式的幹試機械設備真空泵可以符合要求；
在化工、醫藥業、食品產業中的水蒸氣蒸餾、幹躁、除泡、包裝等，要避免有機溶液導致環境汙染，合適用幹試真空泵；
愛發科真空泵油用作一般無油清理超濾裝置的前麵泵，以避免油環境汙染。
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